聚焦半導體先進製程量測技術 致茂電子SEMICON TAIWAN盛大展出

2022 September 12nd

致茂電子參與SEMICON TAIWAN 2022,現場實機展出半導體測試解決方案,並可透過MR混合實境方式體驗高精度SoC測試系統,讓參觀者有耳目一新的全新體驗。

半導體材料的奈米粒子監測系統

SuperSizer成功揪出影響化學溶液良率的殺手—奈米粒子及不純物質,協助半導體在20奈米以下製程「看」清楚諸多超細微粒。量測過程完全不受奈米氣泡的干擾,精準量測小至3奈米的粒子大小及數量分布,且提供全自動化監測系統,掌握良率、控制風險。

先進SoC測試解決方案

Chroma 3680高精度SoC測試系統有效滿足人工智慧(AI)與車用等尖端科技晶片的測試需求,專為近年來最熱門的系統單晶片 (System-on-Chip, SoC) 與系統級封裝 (System-in-Package, SiP) 設計,可提供高達2048個I/O通道,數位通道速率最高可達1Gbps,支援最高16G集成SCAN向量存儲深度,並提供多種測試模組供使用者選擇。可同時完成電源(Device Power Supply, DPS)與參數測試單元(Parametric Measurement Unit, PMU)、數位邏輯 (Digital Pattern)、記憶體 (Memory)、混合訊號 (AWG and Digitizer)、以及RF無線通訊等測試。

RF射頻晶片測試解決方案

Chroma 3300/3380/3680 ATE測試系統搭配ADIVIC MP 5806S,即為完整的RF射頻晶片測試方案,具備S Parameter & Noise Figure 功能可完整測試FEM/PA/Switch/LNA等零組件,並支援Bluetooth、Wi-Fi、NB-IoT、GPS/BeiDou等(IoT)通訊標準和Tuner應用,提供更全面的RF射頻晶片測試。

PXIe架構測試平台提供高彈性測試需求

因應多變的半導體測試需求,致茂推出可媲美ATE設備、高彈性的測試解決方案Chroma 3300 PXIe Tester,提供6、9、18槽位的機箱硬體配置,共有四種PXIe模組,包含數位I/O擷取模組、兩種電源供應模組,以及繼電器驅動模組。除了標準的測試模式外,也可以使用SLT的方式進行測試分類,其生產的UPH將會大幅提升。

功率元件的絕緣品質守護者

電動車(EV)、太陽能(PV)等新能源應用領域皆使用大量的功率元件做能源轉換,在功率元件上通常會出現較高的跨壓或壓差,因此功率元件應具備良好的耐壓絕緣,確保在正常的工作條件下,功率元件不會有連續性局部放電導致品質劣化的疑慮。Chroma 19501系列局部放電測試器符合Partial Discharge (PD)測試法規,使用AC電壓做耐壓測試及局部放電檢測,為功率元件檢測在高電壓的條件下是否有連續性局部放電(PD in pC)的發生及在正常的工作條件下不會有任何局部放電的發生,確保功率元件長期工作的可靠度。

異質整合先進封裝測試解決方案

半導體封裝技術不斷演進,在異質(Heterogeneous)與矽穿孔(TSV)封裝技術結合下,發展出2.5D/3D 堆疊等先進封裝技術,致茂電子推出Chroma 3200 Versatile Platform的SLT Test Cell測試平台,有效解決各種不良率問題,例如:IC表面的翹曲與共面性、裸晶及高精度的接觸力量、高密度接觸腳位、大功率IC的溫度控制、晶片核心溫度的反饋,不同的封裝材料等,可提高良率並降低測試成本。

致茂電子開發異質整合先進封裝光學檢測設備,以Insitu AOI協助客戶即時發現製程中瑕疵,提供更全面的生產品質管控。亦有整合自有專利所開發之奈米級3D晶圓自動化量測系統,目前已應用於TSV、RDL及相關關鍵尺寸量測。

應5G通訊、車用電子、3D sensing等化合物半導體需求,Chroma 7945晶圓外觀檢查系統可應用於晶圓切割前/後製程,提供晶粒外觀品質控管以及製程中良率與缺陷的分析。針對化合物半導體製程的雙面檢查需求,一次檢查可獲得雙面缺陷檢查結果,以降低製程成本與晶粒合併檔案損失。並支援大尺寸晶粒檢測如Lidar及PA(Power Amplifier)等應用,在可檢測缺陷1.5μm的解析度前提下,支援邊長達20mm的大尺寸晶粒。

SEMICON Taiwan 2022 (9月14-16 日),致茂電子將於台北南港展覽館一館1F (攤位號K2876)展出多元的測試解決方案,並於半導體先進檢測與計量國際論壇,探討半導體化學溶液中奈米粒子監測技術,我們誠摯的邀請您一同體驗量測新趨勢,期待在此年度盛會中與您見面。

To offer nanoparticle monitoring technologies for processing liquids used in semiconductor industry.

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